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機械易磨損零部件的高性能自潤滑涂層解決方案

半導體/液晶制造工業

防靜電自潤滑涂層在半導體液晶制作行業應用時，主要有如下優點：

（1）涂層電阻率控制在1*106-1*109歐姆；

（2）摩擦系數低，保護對磨件無劃傷等不良現象；

（3）延長基板使用壽命。